Park Systems 扩展FX大样品原子力显微镜产品线，助力新一代工业创新

Park Systems扩展FX大型样品AFM产品线，为下一代工业创新注入动力

韩国首尔2025年2月19日 /美通社/ -- 全球原子力显微镜（AFM）领军企业Park Systems在2025年韩国半导体展览会上推出了扩展版FX大型样品AFM系列产品。 继Park FX200在2024年西部半导体展览会（SEMICON West）首次亮相并随后在德国、日本和韩国市场获得强烈反响之后，Park Systems又推出了用于300毫米晶圆分析的Park FX300，以及集成了红外（IR）光谱技术的Park FX200 IR和FX300 IR，进一步拓展了大型AFM技术的边界。

随着300毫米晶圆成为半导体行业标准，Park FX300专为需要高精度分析但无需复杂全自动在线系统的用户设计，同时也为计划在过渡至在线制造前引入AFM技术的企业提供理想解决方案。

Park FX300兼顾工业与科研需求，通过多项专有功能实现广泛AFM技术的分析与质控升级：如半导体后端处理中铜垫的长程平整度测量的滑动载物台；用于晶圆封装中样品精确对准的旋转载物台；以及增强样品可视化效果的离轴光学系统。此外，内置风机过滤单元（FFU）可确保洁净室环境下的无污染操作。

同步推出的FX200 IR与FX300 IR将AFM技术拓展至纳米化学分析领域。通过融合傅里叶变换红外光谱（FTIR）与原子力显微镜，该系列采用光诱导力显微镜 （PiFM）技术，实现小于5纳米化学成像的空间分辨率。这一突破使研究人员能在不损伤晶圆表面的前提下分析纳米结构化学成分，为半导体、高分子及生命科学领域的材料表征开辟新路径。

FX200 IR 和 FX300 IR 专为从小尺寸到200毫米或300毫米晶圆的样品设计，提供高分辨率红外光谱成像，可深入解析材料组成与分子相互作用。其超精细化学键信息捕捉能力，为半导体缺陷分析、高分子研究及先进材料表征提供高精度支持。

秉承"高效率同时减少人工干预"理念，FX大样品AFM系列配备探针自动识别更换系统、用于探针状态监测的二维码系统及AI激光对准功能。StepScan™技术支持预设坐标点自动连续测量，大幅提升形貌、电学、力学与磁学特性分析的效率。尤其在红外应用中，系统通过全自动激光对准流程，显著降低高分辨率化学分析的操作门槛。

韩国帕克股份有限公司（Park Systems）执行副总裁赵相俊博士表示："FX大样品AFM系列凝聚了我们在精密测量与自动化领域数十年的技术积淀，为工业与科研用户提供优化的晶圆分析解决方案。Park FX300及纳米红外系统正在重塑工业与研究级AFM的应用界限，为客户提供先进的AFM解决方案, 共同推动纳米科学的发展。"

此次创新进一步巩固了 韩国帕克股份有限公司（Park Systems）在原子力显微镜领域的全球领导地位，持续为半导体与纳米科学研究提供前沿解决方案。

关于Park Systems公司：（ 韩国科斯达克(KOSDAQ)股票代码：140860）
作为纳米计量解决方案的引领者，Park Systems以其制造的高质量原子力显微镜（AFM）而备注关注。与行业竞争对手不同，Park Systems在材料科学、物理学、化学、生命科学、半导体和数据存储等多个科学领域中能与客户保持良好的专业关系。公司的使命是为科学家和工程师推动纳米尺度的创新，促进科学发现。Park Systems的客户包括各大半导体公司和研究型大学。公司总部位于韩国水原，并在美洲、欧洲和亚洲设有地区办事处，Park Systems已在韩国证券交易所（KOSDAQ）上市。了解更多信息，请访问：。